一、用途

6JAC電腦干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度，并配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評(píng)定▽10～▽14光潔度的表面。

該儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。

二、技術(shù)規(guī)格

1、測量表面光潔度范圍 0.03～1μm（▽10～▽14）；半寬度 ▽λ≈100Å；物鏡的數(shù)值孔徑 0.65 工作臺(tái)升程 5mm

2、工作距離 0.5mm； X、Y方向移動(dòng)范圍 ≈10mm

3、儀器的視場目視Φ0.25mm； 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍 360°

4、照相 0.21×0.15mm； 儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡高反射率 ≈60%

5、儀器的放大倍數(shù)目視 500×； 低反射率 ≈4%

6、照相 168× ；可調(diào)變壓器輸入電壓 220V

7、測微目鏡放大倍數(shù) 12.5×； 輸出電壓 4V～6V

8、測微鼓分劃值 0.01mm ；儀器外形尺寸 270×160×230mm

9、綠色干涉綠色片波長 λ≈5300Å； 儀器重量 ≈5㎏

10、計(jì)算機(jī)成像系統(tǒng)：CCD攝像頭、CCD適配鏡、外置式圖像視頻采集卡(A/D)

三、儀器成套性：