掃描電子顯微鏡 (SEM) 利用聚焦的高能電子束生成樣品的高清放大二維圖像。為此目的，電子束被引導到固體樣品表面的選定部分上。光束的電子與樣品之間的相互作用導致產生各種信號。這些信號被記錄和進一步處理以產生數(shù)字格式的圖像。它可用于揭示樣品的內部結構、樣品的外部紋理、物質的化學成分以及構成樣品的元素的取向和排列等信息。掃描電子顯微鏡最早由德國研究人員、應用物理學家和發(fā)明家曼弗雷德·馮·阿登于 1937 年制造。掃描電子顯微鏡的放大倍率通常在 20X 到大約 30,000X 的范圍內。掃描電子顯微鏡的空間分辨率范圍為 50 至 100 nm。

文章索引（點擊跳轉）

• 掃描電子顯微鏡的工作 

• 掃描電子顯微鏡的應用 

• 掃描電子顯微鏡的優(yōu)點 

• 掃描電子顯微鏡的缺點 

掃描電子顯微鏡的工作 

掃描電子顯微鏡的工作通常取決于反射電子撞擊樣品表面后的檢測。掃描電子顯微鏡的主要元件是電子源。通常，在大多數(shù)掃描電子顯微鏡中，加熱的鎢絲用作電子源。在這里，熱量傾向于為電子提供更多能量，從而將它們引導到特定方向并產生單個聚焦電子束。陽極或帶正電的電極板存在于電子源和電容器之間。陽極的主要目的是將電子偏轉并使其排列成一條細而單一的直線。這是因為電子上帶有負電荷，而陽極板帶正電荷。掃描線圈和物鏡位于聚光器下方。源產生的電子束通過聚光鏡、掃描線圈和物鏡。當電子束中包含的電子撞擊樣品時，它們會隨機反射并在各個方向上散射。這被稱為電子逃逸，它幫助用戶建立散射和保留電子數(shù)量之間的關系。由于電子-樣品相互作用和電子逃逸而產生的信號被檢測器檢測到。檢測器還連接到傳感器。樣品通常由凹凸和凹谷組成。當電子撞擊樣品的凸塊區(qū)域時，更多的電子傾向于逃逸，而當電子撞擊山谷時，相對較少的電子設法反射和逃逸。

掃描電子顯微鏡的應用 

掃描電子顯微鏡被用作許多領域的分析工具，包括生物學、制藥業(yè)、制造業(yè)、物理實驗室等等。掃描電子顯微鏡的一些主要用途如下：

1. 掃描電子顯微鏡廣泛用于能量色散X射線光譜儀進行點化學分析。

2. 主要用于生物實驗室，在細胞水平上研究微生物的內部結構。

3. 掃描電子顯微鏡在工業(yè)上有多種應用。例如，它可以用來研究固體物體的表面，分析原子在各種元素中的分布。

4. 美容師使用掃描電子顯微鏡來分析微小化妝品成分的細節(jié)。

5. 制造業(yè)使用掃描電子顯微鏡來尋找制成品中的污染物和雜質。

6.各行業(yè)的質量控制部門使用掃描電子顯微鏡來確定特定物質的純度。例如，制藥行業(yè)使用它們對藥物、藥品和其他產品進行好壞測試。

7. 掃描電子顯微鏡也用于元素的定性化學分析，通過提供清晰放大的晶體結構圖像。

8. 掃描電子顯微鏡在納米技術等相關領域具有相當優(yōu)勢。它可以提供尺寸超過 50nm 的物體的精確測量和詳細圖像。

9. 可用于區(qū)分多相樣品的不同相。

10. 部分掃描電子顯微鏡配備有衍射背散射電子探測器，有助于檢查和確定物質的顯微結構和晶體取向。

11. 掃描電子顯微鏡通常用于生成物體的高清圖像，這些圖像可以顯示化合物的空間變化。

12. 當需要對樣品上的選擇點位置進行分析時，通常首選掃描電子顯微鏡。

13. 一般用于醫(yī)學領域，觀察細菌與皮膚和身體器官的相互作用。這有助于醫(yī)生確定細菌性疾病的性質并找到治療方法。

掃描電子顯微鏡的優(yōu)點 

與其他顯微鏡相比，掃描電子顯微鏡非常具有優(yōu)勢。下面列出了其中一些優(yōu)點：

1. 掃描電子顯微鏡用戶友好且易于使用。

2. 他們可以產生和生成數(shù)字格式的結果。

3. 掃描電鏡可以快速得出結果，即在幾分鐘內即可獲得數(shù)據(jù)。

4. 掃描電子顯微鏡需要最少的樣品制備。

5、掃描電鏡的分辨率顯著提高。

掃描電子顯微鏡的缺點 

掃描電子顯微鏡有一定的局限性和缺點。其中一些如下：

1、掃描電鏡比較貴。

2. 有些顯微鏡在使用前必須滿足某些特殊條件。例如，房間必須沒有振動和電磁輻射。

3. 掃描電子顯微鏡結構龐大。

4. 掃描電子顯微鏡的正常操作必須保持一致的電壓電平。這可能需要額外的電子電路或電壓調節(jié)器來將電壓幅度固定為恒定值。

5. 此類顯微鏡應安裝冷卻系統(tǒng)。

6. 樣品應該足夠小以適合顯微鏡的腔室。樣品的水平尺寸不應超過 10 厘米，而垂直尺寸受到更多限制，必須小于 40 毫米。

7. 使用掃描電子顯微鏡檢查的樣品必須是固體。濕樣不適合，需要先爆破。

8、掃描電鏡不能用于氫、氦、鋰等輕質材料。

9. 為了借助掃描電子顯微鏡研究絕緣體樣品，需要在其表面涂上導電涂層。但是，如果設備能夠在低真空模式下工作，則可以忽略不計。

10. 無法借助掃描電子顯微鏡掃描活體樣本。